应用于半导体制造设备,硅晶圆成膜设备,及射出成型机器等需要无尘作业环境之特殊要求.
其外部绝缘体经本公司之独特加工法加工,即使于400度之环境下仍可保持线体本身之柔软度,
不会因此丧失其加工性,仍能保持无尘室之洁净度.
LPCVD设备及各种配管之保温加热器
加热线为陶瓷毡着(Ceramics Felt)法披覆,再加以二氧化硅玻璃纤维等特殊绝缘材料编织,
故可防止过热及接触所发生之危险.另外加热线之布线间距可缩近至5mm,
故可维持整体均一之加热效果.和一般的橡胶(rubber)保温器相比,因外部散热较少,以更省电.
应用于垃圾焚化炉,发电厂,汽车之引擎等之计测.
即使于400度之温度中仍能保持线体之柔软性,其静电容量也控制于最低值(55PF/m以下).
另于芯线及内外各层披覆中施以聚合物(Polyimide tape)披覆加工,以增加线体之耐湿性.